[스크랩]Accuracy & Repeatability

* RESOLUTION     Relolution이란 위치결정의 최소단위를 말한다. Positioning Stage의 경우 Manual Type의 미세조정나사 또는 마이크로메타헤드, Motorized Type의 Step 및 Servo Motor로 구동될 수 있는 최소 이동거리를 말한다.

* ACCURACY     원하는 위치 혹은 명령위치와 실제 이송된 위치 사이의 최대오차를 말한다. 일반적으로 Positioning Stage의 Accuracy는 명령위치의 측정방법에 의존하게 된다. 그러므로 Open-Loop의 System에서는 크게 의미를 갖지 않는다.

* REPEATABILITY     Repeatability란 Motion System이 연속적으로 명령된 위치에 정확히 도달할 수 있는 능력을 말한다. 흔히 한 점 혹은 특정 위치로 반복 이송될 경우의 위치정밀도를 말한다. 일반적으로 Repeatability는 Uni-directional Repeatability로 구분되어진다. Uni-directional Repeatability는 한쪽 방향의 Screw Backlash 등의 영향을 무시한 값이다. Bi-directional Repeatability란 + 및 - 방향의 양쪽방향에 대한 연속적인 이송에서의 위치정밀도이다. 이 값은 Backlash등의 외부적인 요인으로 Uni-directional Repeatability보다는 그 수치가 높다.

* BACKLASH     한쪽 방향으로 회전하는 도중 역방향으로 방향을 바꾸었을 때 발생하는 기구적인 오차를 말한다. 이러한 Backlash는 예압의 부족 혹은 동력전달 Gear의 맞물림 이상 등에 의해 발생하며 그 값은 누적된다. Backlash는 Controller를 통해 보정될 수 있다.

* CONCENTRICITY AND ECCENTRICITY     이론적으로 Rotary Stage 표면상의 한 점은 완전한 이상적인 원을 따라 운동하게 된다. 하지만 실제 운동궤적은 완전한 원으로부터 벗어나게 된다. Concentricity 및 Eccentricity란 한 점이 회전축을 중심으로 회전할 때 발생하는 이상적인 원과 실제 궤적과의 최대차이를 말한다.

* WOBBLE     Rotary Stage와 같은 회전체가 회전할 경우 회전체의 중심선으로부터 각변위를 말한다.

* RUNOUT     Rotary Stage와 같은 회전체가 회전할 경우 회전체의 표면상의 한 점은 회전축에 대해 직각인 이상적인 완전평면상에서 회전하게 될 것이다. Runout이란 이러한 완전평면으로부터 표면상의 한 점이 벗어난