3차원 공간에서 정확하게 위치를 잡는 리니어 스테이지의 성능에 영향을 주는 요소는 여러가지가 있습니다. 아베 에러, 직진성, 평탄도, 피치, 롤, 요, 히스리레시스, 백레쉬, 직교 배열, 엔코더 에러, 마운팅 표
면, 그리고 외팔보 식 부하 등, 이 모두가 3차원 공간내의 위치 오차에 기여합니다.
검토를 목적으로, 이 다음부터 설명하는 부분은 X-Y 어셈블리로 조립되는 2개의 이동 스테이지 세트를 기준으로 것입니다. 어셈블리의 하부 스테이지는 3차원 공간에서 X축 방향으로 수평면을 이동하도록 정렬됩니다(X축). 상부 스테이지는 3차원 공간에서 Y축 방향으로 수평면을 이동하도록 첫번째 스테이지의 상부에 조립됩니다.(Y축)
아베 에러 - 베어링 방식의 각도 에러와 목표 지점과 구동 메커니즘 (볼 스크류) 또는 피드백 메커니즘 (리니어 엔코더)사이에서의 오프 셋 거리에 의해 발생하는 변위 오차입니다.
직진성 - 직진성은 수직의 이동 본선부터 수평면에서 이동 방향까지의 편차입니다.
상기 기술된 스테이지 어셈블리에 대해 X축 스테이지의 이동내의 직진성 편차가 Y 방향에서의 포지셔닝 에러를 발생시킵니다. Y-축 스테이지의 이동내의 직진성 편차는 X 방향에서의 포지셔닝 에러를 발생시킵니다
히스테리시스 에러 - 히스테리시스 에러는 모션시스템내의 탄성력에 의해 발생하는 목표 지점에서의 실제 위치와 명령되어진 지점간의 편차입니다. 또한, 양방향 반복 정도에 영향을 줍니다. 에어로텍의 리니어 위치결정 스테이지에 대해 히스테리시스에 의해 발생하는 정밀도와 반복정도 에러는 스테이지 사양 표 안에 포함되어 있습니다. 기계 기반에서의 탄성력, 부하, 부하 연결 하드웨어는 고려하지 않았고, 최적의 성능을 위해 반드시 검사하고, 최소화 되어야 합니다.
백래시 에러 - 백래시 에러는 이동방향의 반전에 의해 생기는 위치결정 오차입니다. 백래시는 이동방향 반전 시의 위치에서 바뀌지 않게 만드는 지령된 모션의 일부입...